1. 气流运行模式
无尘室的气流运行模式至关重要,因为它可以控制粒子的运动和去除。层流和湍流是两种常见的气流模式:
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层流:
空气以平行层流方式流动,最大限度地减少湍流和粒子扩散。层流无尘室通常用于对粒子控制要求最严格的应用,如半导体制造和精密仪器组装。
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湍流:
空气以不规则和不可预测的方式流动,导致粒子更多地混合和稀释。湍流无尘室通常用于粒子控制要求较低或需要高空气交换率的应用,如制药生产和生物技术研究。
2. 空气过滤
高效空气过滤器(HEPA)和超低渗透空气过滤器(ULPA)是无尘室空气净化的关键部件。
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HEPA 过滤器:根据 EN 1822 标准,HEPA 过滤器可去除 99.99% 以上的 0.3 微米的粒子。
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ULPA 过滤器:根据 ISO 29463 标准,ULPA 过滤器可去除 99.999% 以上的 0.1 微米的粒子。
HEPA 和 ULPA 过滤器通常安装在无尘室的送风系统中,以去除空气中的粒子。
3. 空气循环
高空气交换率对于稀释和去除空气中的粒子至关重要。ISO 14644-1 标准建议,ISO 8 级无尘室的空气交换率应为每小时 20-30 次。这意味着无尘室内的空气每小时应完全更换 20-30 次。
高空气交换率可以通过以下方式实现:
- * 增加送风量
- * 减少排风量
- * 使用再循环风系统

通过实施这些净化方法,无尘室可以维持高水平的空气洁净度,从而为敏感产品和工艺提供受控且无污染的环境。