无尘室
一、基本概念
无尘室（洁净室）是一个高度控制的环境，旨在减少空气中粒子、微生物和其他污染物的数量。根据国际标准ISO 14644-1，无尘室的洁净度等级可以从ISO Class 1到ISO Class 9不等，等级越低，空气中允许的粒子数量越少。例如，ISO Class 1的标准允许每立方米空气中仅有10个粒子（粒径≥0.1微米）。无尘室广泛应用于半导体制造、制药、生物技术、航空航天等行业，以确保产品质量和实验的可靠性。二、工作原理
三、技术参数
洁净度
洁净度是无尘室最重要的技术参数之一，通常以ISO等级表示。根据ISO 14644-1，空气中允许的最大粒子数量如下：
风量
无尘室的风量设计通常以换气次数每小时（ACH）来衡量，标准无尘室的ACH一般在300到600之间，具体取决于不同的洁净度要求。例如，ISO Class 5的无尘室，可能需要每小时换气600次，以确保能够维持其洁净度标准。温度
无尘室的温度通常保持在20°C至24°C之间，以适应大部分工业应用。在某些特定的应用中，温度可能需要更严格的控制，以确保产品或实验的稳定性。湿度
湿度控制在30%至60%之间是常见的标准，以防止静电积聚和产品质量下降。对于某些应用，湿度可能需要进一步精细化控制，例如在制药行业，通常要求相对湿度低于30%。压差
为了防止污染物外泄，无尘室通常保持负压状态。一般来说，压差应保持在15Pa至50Pa之间，确保外部空气不会渗入洁净环境，从而影响洁净度。四、用途
无尘室的用途非常广泛，主要包括以下几个领域：1. 半导体制造
用于集成电路和电子元件的生产，要求极高的洁净度以防止缺陷。2. 制药行业
用于无菌药品的生产和实验，确保产品不受微生物污染。3. 生物技术
用于细胞培养和基因工程操作，提供无菌和受控的环境。4. 航空航天
用于航空器和航天器的组件组装，确保设备在极端环境下的可靠性。五、维护保养
无尘室的维护保养至关重要，以确保其有效性和可靠性。常见的维护措施包括：1. 定期清洁
建议使用专用无尘清洁剂和工具进行清洁，避免使用可能产生颗粒的清洁剂。2. 过滤器更换
根据使用频率和环境条件，定期检查和更换HEPA/ULPA过滤器，通常每6到12个月更换一次。
3. 监测系统
定期使用粒子计数器监测空气洁净度，以确保达到所需的ISO等级。4. 设备校准**4. **设备校准
确保所有监测和控制设备（如温湿度计、压力表等）定期进行校准，以保证数据的准确性。通常建议每年进行一次校准，以满足ISO 17025标准的要求。5. 培训与记录
对无尘室的操作人员进行定期培训，确保他们了解洁净室的操作规范和应对突发事件的措施。同时，建立详细的维护记录，包括设备的检查、清洁、过滤器更换和监测结果等，以便于追溯和改进。6. 空气流动检查
定期检查无尘室的气流模式，确保空气流动符合设计要求，避免死角和局部污染的发生。采用烟雾测试等方法监测气流状况，有助于发现潜在的风道问题。7. 紧急预案
制定应急预案以应对突发事件，如设备故障、污染事件等，确保有明确的处理流程和责任分配，保障无尘室的安全与洁净。相关标准与规范
在无尘室的设计、建设和运营中，遵循相关标准和规范至关重要。以下是常用的国内外标准与规范列表：| 标准/规范 | 描述 |
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| ISO 14644-1 | 洁净室和相关受控环境的洁净度等级分类 |
| ISO 14644-3 | 监测洁净室和相关受控环境的程序 |
| GB 50457-2008 | 无尘室设计与施工规范（中国国家标准） |
| GMP (Good Manufacturing Practice) | 药品生产质量管理规范，适用于制药行业 |
| IEST-RP-CC012.2 | 颗粒计数器的使用和校准指南 |
| ISO 9001 | 质量管理体系要求，适用于无尘室运营和管理 |
