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无尘室

无尘室(Cleanroom)是一个为了控制空气中的尘埃、细菌、化学物质等污染物而精确设计和维护的封闭空间。它广泛应用于对环境洁净度要求极高的行业,如半导体制造、制药、生物医药、食品生产、航空航天等。无尘室的设计旨在减少空气中粒子的数量,保证生产和实验过程不受外界污染的干扰。

  • 半导体制造:无尘室在半导体生产中至关重要,任何微小的灰尘颗粒都可能导致产品的缺陷。ISO 1级到ISO 5级无尘室广泛应用于此领域。

  • 制药行业:药品的生产和包装需要无尘室,以避免微生物污染和颗粒污染。制药厂通常需要符合GMP(良好生产规范)要求的洁净环境。

  • 生物医药:生物制药过程中的无菌环境要求极高,无尘室不仅要控制颗粒物,还要控制空气中的微生物含量。

  • 航空航天:航天器、卫星等高精密设备的制造对洁净室环境要求极高,以确保精密部件不受污染。

  • 食品加工:无尘室在某些高标准的食品生产中(如高端保健食品、乳制品)也有应用,以避免外部环境对产品造成影响。


无尘室洁净度等级表

无尘室的洁净度等级根据空气中允许的最大颗粒数量进行划分。不同的标准(如ISO 14644)采用不同的粒子计数法对洁净度进行评定。常见的洁净室等级包括:

ISO 1级:空气中的最大粒子数为每立方米空间内不超过10个0.1微米粒子,属于极为高洁净度的环境,常见于半导体制造。

ISO 5级:每立方米空间内最大粒子数为3,520个0.5微米粒子,适用于高要求的电子、制药等行业。

ISO 8级:每立方米空气中允许有数十万粒子的存在,适用于较低洁净度要求的环境。


空气颗粒物洁净度等级(立方米)

等级每立方米微米尺寸的颗粒数量
0.1 μm0.2μm0.3μm0.5μm1 μm5 μm
IS01102



ISO210024104

IS031,000237102358
IS0410,0002,3701,02035283
IS05100,00023,70010,2003,52083229
IS061,000,000237,000102,00035,2008,320293
IS07


352,00083,2002,930
IS08


3,520,000832,00029,300
IS09


35,200,0008,320,000293,000


空气颗粒物洁净度等级比较

ISO14644-1FEDERAL STANDARD 209E
ISO ClassEnglishMetric
ISO 1

ISO 2

ISO 31M1.5
ISO 410M2.5
ISO 5100M3.5
IS0 61,000M4.5
ISO 710,000M5.5
ISO 8100,000M6.5
ISO 9



ISO Class FED STD 209E Equivalent
ISO ClassMaximum Particles/mFED STD
209E
equivalent
≥0.1μm≥0.2um≥0.3um≥0.5um≥11m≥5um
ISO1102




ISO210024104


ISO31,000237102358
Class1
ISO410,0002,3701,020352833Class10
ISO5100,00023,70010,2003,52083229Class100
ISO61,000,000237,000102,00035,2008,320293Class 1,000
ISO7


352,00083,2002,930Class10,000
ISO8


3,520,000832,00029,300Class
100,000
ISO9


35,200,0008,320,000293,000Room Air



Comparison table of ISO grade standards and ventilation times

ISO ClassACH(AIRCHANGE PER HOUR)
ISO 3360-540
ISO 4300-540
ISO 5240-480
ISO 6150-240
ISO 760-90
ISO 85-48


Comparison Table GMP/USP/ISO/FED209E 
projectChina GMP/Europe GMP
ISOFED STD
209E
Suspended
particles
P/m3
levelStaticdynamiclevelStaticleveldynamic
≥0.5um≥5μm≥0.5μm≥5μm≥0.5um≥5μm≥0.5um≥5μm
A352020352020M3.535301005222020100
B3520293520002900
--63520291000
C3520002900352000029000M5.5353000100007352000293010000
8.352000029300100000
D352000029000No regulationsNo regulationsM6.535300001000009352000029300100000


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无尘室 Video Introduction

FAQ

问:什么是无尘室?

答:无尘室是一种专门设计的环境,旨在控制空气中的尘埃、微生物和化学污染物,以满足特定的洁净度要求。它通过高效的空气过滤系统和严格的空气流动控制,确保在生产和实验过程中,产品或样品不受污染。无尘室广泛应用于半导体、制药、航空航天等高科技行业,保障产品质量和安全。


问:无尘室和洁净室有什么区别?

答:无尘室和洁净室的主要区别在于洁净度的要求和应用领域。无尘室通常强调控制空气中的颗粒物,适用于对尘埃敏感的生产过程;而洁净室则更广泛,除了控制尘埃外,还需控制温湿度、微生物等因素,适用于制药、医疗器械等行业。两者都旨在提供一个安全、可靠的工作环境。


问:无尘室的定义是什么?

答:无尘室是指通过特定的设计和技术手段,控制室内空气中颗粒物、微生物和化学物质浓度的环境。其主要目的是为满足高科技行业对产品质量和安全的严格要求,确保在生产和实验过程中,避免外部污染对产品的影响。


问:无尘室的洁净度等级如何划分?

答:无尘室的洁净度等级通常根据国际标准(如ISO 14644-1)进行划分,主要分为多个等级,从ISO 1到ISO 9,数字越小,洁净度越高。每个等级对应特定的空气中最大允许颗粒数,适用于不同的行业需求,确保生产过程的安全和产品的质量。


问:无尘室的设计标准是什么?

答:无尘室的设计标准包括空气流动设计、温湿度控制、材料选择和设备配置等。设计时需遵循相关国家标准和行业规范,确保空气过滤系统的高效性、气流的合理分布以及室内环境的稳定性,以满足特定的洁净度要求和生产工艺。


问:无尘室的主要应用领域有哪些?

答:无尘室主要应用于半导体制造、制药、医疗器械、航空航天、生物技术等高科技行业。这些领域对产品的洁净度和安全性要求极高,无尘室能够有效防止外部污染,保障产品质量,促进科技进步和产业发展。


问:无尘室的空气质量要求是什么?

答:无尘室的空气质量要求包括控制空气中的颗粒物、微生物、化学物质和温湿度等。根据不同的洁净度等级,空气中允许的最大颗粒数和微生物浓度有严格规定,确保在生产和实验过程中,环境的稳定性和产品的安全性。


问:如何保持无尘室的洁净度?

答:保持无尘室的洁净度需要定期进行清洁和维护,使用专用的清洁工具和材料,避免使用易产生尘埃的物品。同时,严格控制人员进出,确保穿戴符合要求的防护服,定期监测空气质量,及时更换过滤器,以维持室内环境的洁净状态。


问:无尘室的气流设计需要注意什么?

答:无尘室的气流设计需确保空气流动的均匀性和稳定性,避免死角和短路现象。应采用层流或混合流设计,合理配置送风口和回风口的位置,确保洁净空气能够有效覆盖整个工作区域,减少污染物的积聚,保障生产过程的安全。


问:无尘室的温湿度控制要求有哪些?

答:无尘室的温湿度控制要求根据不同的应用领域而有所不同。一般来说,温度应保持在20-25℃之间,相对湿度控制在30%-60%之间,以确保设备正常运行和产品质量。同时,需定期监测和调整,保持环境的稳定性。


问:无尘室的空气过滤系统如何设计?

答:无尘室的空气过滤系统设计应包括初效、中效和高效过滤器的组合,确保不同粒径的颗粒物都能被有效去除。高效过滤器(如HEPA或ULPA)应安装在送风口,确保进入无尘室的空气达到所需的洁净度标准,同时定期检查和更换过滤器,以维持系统的高效性。


问:无尘室中使用哪些设备?

答:无尘室中常用的设备包括空气过滤器、风机、温湿度控制器、洁净工作台、传递窗、消毒设备等。这些设备共同作用,确保无尘室内的空气质量、温湿度和洁净度,满足高科技生产和实验的需求。


问:无尘室的安装流程是什么?

答:无尘室的安装流程一般包括设计规划、基础建设、设备安装、系统调试和验收等步骤。首先根据需求进行详细设计,随后进行基础施工,安装空气过滤系统、温湿度控制设备等,最后进行系统调试和性能测试,确保无尘室达到预期的洁净度标准。


问:无尘室的维护和清洁规范是什么?

答:无尘室的维护和清洁规范包括定期清洁、设备检查和空气质量监测。清洁时应使用专用的无尘清洁工具,避免产生二次污染。设备需定期检查和维护,确保其正常运行,空气质量应定期监测,及时调整和更换过滤器,以保持室内环境的洁净。


问:无尘室的压力差如何控制?

答:无尘室的压力差控制是通过调节送风和排风的流量来实现的。通常,无尘室内部应保持正压,以防止外部污染物进入。通过安装压力传感器和自动调节系统,实时监测和调整室内外的压力差,确保无尘室的洁净度和安全性。


问:无尘室的建筑材料有哪些要求?

答:无尘室的建筑材料应具备防尘、易清洁和耐腐蚀等特性。墙面、地面和天花板通常采用光滑、无缝的材料,如不锈钢、聚氯乙烯(PVC)等,以减少尘埃积聚和便于清洁。同时,材料应符合相关的安全和环保标准,确保无尘室的长期使用。


问:无尘室如何进行验收?

答:无尘室的验收通常包括对洁净度、温湿度、气流速度和压力差等指标的检测。需按照相关标准进行空气质量监测,确保各项指标达到设计要求。同时,验收过程中应记录数据,形成验收报告,以便后续的管理和维护。


问:无尘室的建设费用大概是多少?

答:无尘室的建设费用因设计标准、规模和设备配置等因素而异。一般来说,建设费用包括土建工程、设备采购和安装调试等,可能从几十万元到数百万元不等。具体费用需根据项目需求进行详细评估,以确保投资的合理性和有效性。


问:无尘室对人员的管理要求是什么?

答:无尘室对人员的管理要求包括严格的进出管理和培训制度。进入无尘室的人员需穿戴符合要求的防护服,接受相关培训,了解无尘室的操作规程和清洁规范。同时,应定期进行考核,确保人员遵守无尘室的管理规定,维护室内环境的洁净。


问:如何选择合适的无尘室等级?

答:选择合适的无尘室等级需根据具体的应用需求和行业标准进行评估。首先,明确产品或实验对洁净度的要求,然后参考相关的国际标准(如ISO 14644-1),选择适合的洁净度等级。同时,考虑投资预算和运营成本,确保选择的等级能够满足生产和实验的实际需求


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