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微电子无尘棚洁净度等级,设计施工

2022-09-19 Visits:

微电子无尘棚洁净度等级,微电子无尘棚设计施工.
净化棚,洁净棚是一种可提供局部高洁环境的空气净化设备,根据等级和结构可分为:百级洁净棚,千级洁净棚,万级洁净棚和可移动式洁净棚等。洁净棚的洁净度往往受到气流的影响,也就是说无论是人或机器隔间,建筑结构等所产生的尘埃随之移动,扩散受到气流的支配。

微电子无尘棚参数标准

1、温度和湿度。一般来说,冬季气温大于16℃±2℃,夏季气温低于26℃±2℃;相对湿度为45-65%(RH),必须根据行业实际情况设定。
2、新风量。这些数值可以取较大的值:非单向流洁净棚总送风量的10-30%;补偿室内排风并保持室内正压值所需的新风量;新风量40m3/h。
3、送风量。不同的车间区域有不同的送风量。德信致远小编以300k厂房和2.5m高天花板的项目为例计算:送风量3002.5x20=15000m3/h

微电子无尘棚参数标准 微电子无尘棚参数标准
   

微电子无尘棚洁净度等级

空气洁净度等级(N) 大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m3)
0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 1um 5um
1 10 2
2 100 24 10 4
3 1000 237 102 35 8
4(十级) 10000 2370 1020 352 83
5(百级) 100000 23700 10200 3520 832 29
6(千级) 1000000 237000 102000 35200 8320 293
7(万级) 352000 83200 2930
8(十万级)3520000 832000 29300
9(一百万级) 35200000 8320000 293000
国家标准GB50073-2001

微电子无尘棚洁净度等级 微电子无尘棚洁净度等级
   

微电子无尘棚ISO 14644 空气洁净度等级标准

ISO 14644 根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净棚(区)及相关受控环境中空气洁净度的等级,并且仅考虑粒径限值(低限)在0.1um~5.0um 范围内呈累积分布的粒子群。
根据粒子径,可以划分为常规粒子(0.1um~5.0um).超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。
GB 50073-2013 洁净棚设计规范里面的10万及洁净棚标准参考,具体如下图:

微电子无尘棚ISO 14644 空气洁净度等级标准 微电子无尘棚ISO 14644 空气洁净度等级标准
   

微电子无尘棚设计施工

10万级洁净棚要求每立方米空气中直径大于等于0.5um的尘粒数量小于10万个。温度一般要求冬季控制在20~22℃,夏季控制在24~26℃,波动不超过2℃。冬季湿度控制在30-50%,夏季控制在50-70%。
因为10万级洁净棚可以为大部分产品实现优质的生产环境,所以在技术和资金上也是划算的。因此,根据不同的企业需求,德信致远一般会选择四种布局方式进行布局。 :两端、内、芯和外环绕。
1.两端型,即洁净区、准洁净室和辅助室设置在一侧。
2.内部配置为外围设置净化车间,内部设置走廊。这种设置方式的走廊清洁度非常高,甚至与净化车间处于同一水平。
3.核心型是以洁净区为核心,周围有各种辅机房和暗管。这种布置不仅可以节省土地,缩短管道,而且可以避免室外气候对洁净区的影响,降低制冷和制热的能耗,有利于节能。
4.外包式可有窗或无窗,也可用于参观和放置一些设备。德信致远还将根据情况在外走廊设置值班暖气,外窗为双层密封窗。

微电子无尘棚设计施工 微电子无尘棚设计施工
   

微电子无尘棚防静电措施设计

对电子工业的生产车间和高级试验室、库房消除静电来说,均需铺设防静电台垫或导电地垫,当防静电台垫(地垫)铺好并接地后(包括门窗),工作面将泄放人体静电,使人体与台面接触的镊子、工具、器具、仪表、爆炸物品等达到基本均一的电位,使静电敏感器件不受摩擦起电等静电放电现象产生的宽步面带的干扰,从而达到静电防护的效果。

微电子无尘棚防静电措施设计(下面内容为随机提取) 微电子无尘棚防静电措施设计(下面内容为随机提取)
   

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武汉得创净化工程有限公司——清洁室空气净化行业协会会生企业,洁净技术专家委员会主任委员单位,电子洁净技术委员会主任委员企业,公司有着多种发明专利潜心无尘车间、诊室、实验室净化处理去湿防静电工程、通风空调工程、自动化技术控制技术。业务流程包含电子器件、药业、化工厂、食品类、仪器仪表、金属、光学、处理芯片、半导体材料、锂电池光伏新能源、航空公司、核电厂等民用型行业。公司注册资本3100万余元,其前身为中航院洁净技术研究所,创立于1989年9月。公司内设九部一办,辖16个省份工作部门。很多年来,公司一直坚持“诚实守信赢领将来”的企业发展理念和“遵纪守法诚实守信、以以德治国企、创新管理、改革创新”的公司发展战略方针,借助机器设备,深厚的工艺能力和充足的作业工作经验,潜心电子器件、半导体材料、锂电池、太阳能发电、光学、金属、新能源技术、精密的机器设备、药业、化工厂、食品类、航空公司、核电厂等行业无尘车间、洁净厂房、诊室、实验室等洁净室工程、防静电工程项目、通风空调工程、自动化技术控制技术。20很多年来在国内各地承包完成了数家洁净厂房、无尘车间、净化手术室、实验室等净化室净化工程实例,每个工程项目都以安全性、迅速遭受顾客和世界各国权威专家的一致五星好评。

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