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洁净棚静电测试內容主要包含：
1 泄露电阻
2 系统接地装置电阻
3 容积电阻
4 表层电阻
4 系统电阻
洁净棚静电测试" />
GB50591-2010 《洁净棚工程施工及施工验收规范》
GB/T25915-2010 《洁净棚及相应的可控自然环境》
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2 系统接地装置电阻
3 容积电阻
4 表层电阻
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GB50591-2010 《洁净棚工程施工及施工验收规范》
GB/T25915-2010 《洁净棚及相应的可控自然环境》
ISO 14644_2006 Cleanrooms and associated controlled environments
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Tags：棚防静电
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