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无尘棚里的检测工具关键有哪些?

  • 作者:彭建军

  • 坤灵得创公司洁净室工程技术经理。

    广东坤灵净化设备有限公司洁净室设备制造公司产品研发经理.

    中国广东省洁净室行业协会执行理事长.

    从事相关产品的研发工作已有15年,积累了丰富的相关技术经验。

  • 2022-05-31  |  Visits:

无尘棚里的检验专用工具关键有什么?

1.温度

无尘棚里温度就是指棚里环境质量的温度,企业以℃(℃)表明。可以采用夹层玻璃温度计、数字式(包含热电阻、热电偶、半导体材料式)温度计测量棚里温度,还可以应用干湿度球湿度计、数字式湿度计和风速计应附的温度计。规定温度计检测范畴应在-10℃至50℃,精确度为±0.3℃。

留意

1)   读值时视野务必与尺标竖直,并与液面层处在同一平面。

2)   读值时不能用手去摸尺标或将温度计取下插口,更不允许拿手捏住温包来读值,不然将导致很大的偏差。

2.空气湿度

环境湿度就是指空气中水分含量的成分。有两类表达方式:(1)绝对湿度:企业容积空气中所含水量气的品质;(2)空气湿度(RH):空气中具体水标准气压与同一温度标准下饱和状态水标准气压之比率,企业用%表明。环境湿度一般用空气湿度表明。空气湿度可以应用干湿度球温度计、氯化锂漏点式湿度计、电容传感器数据湿度计测量,规定湿度计检测范畴应在12%至99%,精确度为±0.3%。

操作方法参照常用仪器设备的使用手册。

3.空气流速

棚里外温度差、压力差、人力自然通风、中央空调、棚里热原等都可以造成气体流动性,同棚外气旋一样对污染物质有稀释液和自由扩散。空气流速可以用热球式电风速计和热线电话式电风速计精确测量,规定风速计检测范畴应在0.01 m/s至20m/s,精确度为±5%。

操作方法参照仪器设备使用手册。

4.排风量

(一)基本原理

选用示踪剂汽体浓度值损耗法。在被测棚里进入适当示踪剂汽体,因为棚里、外气体互换,示踪剂汽体的浓度值呈指数值损耗,依据浓度值随時间的转变值,测算出棚里的排风量。

(二)仪器设备和原材料

1)  迷你或轻便式汽体浓度值检测仪。

2)  尺、摆动电风扇。

3)  示踪剂汽体:没有颜色、无气味、应用浓度值无毒性、安全性、自然环境本底辐射低、易取样、易分

析的汽体。

表2示踪剂汽体自然环境本底辐射水准及安全系数材料

汽体名字

毒副作用水准

自然环境本底辐射水准,mg/m3

一氧化碳

人吸进50 mg/m31h无异常

0.125~1.25

二氧化碳

棚最大允许浓度值9000 mg/m3

600

六氟化硫

小白鼠吸进48000 mg/m34h无异常

小于检测限

一氧化氮

小白鼠LC501090 mg/m3

0.4

八氟环丁烷

大白鼠吸进80%(20%氧)无异常

小于检测限

三氟氯乙酸甲酯

棚规范6100 mg/m3

小于检测限

5.技术专业生产设备之挑选、布局与维护保养

a.要采用发尘性较少的生产设备及有关机器设备,特别是在须留意主题活动一部分之发尘。

b.应挑选浮尘之危害较小的生产设备或插口机器设备。

c.生产制造用之水、汽体、药物等通常是产生严重污染的缘故,故应配置过滤系统。

d.整体规划各机器设备之配备室内空间时,事前宜考虑到不容易累积浮尘之构造,整体规划各并且以非常容易清理为标准。

e.机械泵等易于造成污染源的这种机器设备,应设定在无尘棚外边或送风棚,并改装排汽管线排气管。

f.设定排水管道线、汽体管道和电气控制系统时,其结构须充分考虑非常容易清理,不容易累积污染物质。

g.生产制造及有关设施应定期进行清理,以防止浮尘之沉积。

h.应加强留意棚里的温湿度记录操纵,防止因环境湿度之不合理导致冷凝水锈蚀。

i.当设备维护的时候容易造成浮尘颗粒,故检修时尽可能于清理棚外开展,并加护栏网防护。

j.针对工程施工或检修之生产商,应告之出入无尘棚之工作纪律要求,且承担技术工程师应随侍在侧现场监工。

k.应该有无尘棚常用工具组,但不可以带出无尘棚外应用。

Cleanroom Insiders Expert Team

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