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百级洁净棚FFU群控模块及工作原理

  • 作者:彭建军

  • 坤灵得创公司洁净室工程技术经理。

    广东坤灵净化设备有限公司洁净室设备制造公司产品研发经理.

    中国广东省洁净室行业协会执行理事长.

    从事相关产品的研发工作已有15年,积累了丰富的相关技术经验。

  • 2022-07-04  |  Visits:

百级洁净棚FFU群控模块及工作原理

深入解析FFU群控原理、数量计算模型、材料选型及模块化设计

在半导体制造、精密光学与生物医药等领域,百级洁净棚是保障工艺洁净度的核心设备。其核心在于FFU群控系统与科学的结构设计,能够在局部空间实现ISO 5级(每立方米≥0.5μm粒子数≤3,520个)的严苛标准。本文将深入解析FFU群控原理、数量计算模型、材料选型及模块化设计,结合国际标准与工程实践,为高等级洁净环境构建提供权威指南。

一、FFU群控系统工作原理与数量计算

1. 群控模块核心技术

百级洁净棚采用FFU群控系统,通过PLC或物联网模块实现多台FFU的同步控制,其核心功能包括:

  • 风速无级调节:每台FFU独立调速,范围0.3-0.6m/s,精度±0.05m/s
  • 压差联动:根据门禁开关自动调整总风量,维持正压5-15Pa
  • 故障冗余:单台FFU失效时,周边单元自动补偿风速,波动率<5%

2. FFU数量计算模型

百级洁净棚要求FFU满布率≥80%(扣除框架后有效覆盖面积),具体计算需综合以下因素:

基本公式:FFU数量 = 棚顶面积 × 满布率 ÷ 单台FFU覆盖面积

实例演示:

某百级洁净棚尺寸为4m×3m,顶部面积12m²,选用1175×575mm规格FFU(单台覆盖面积0.68m²):

FFU数量 = 12 × 80% ÷ 0.68 ≈ 14.1 → 实际配置15台

风量校验:

按换气次数500-600次/小时要求,总风量需达到:

12×2.5×550=16,500m³/h,15台FFU(单台1200m³/h)满足需求

3. 不同等级洁净棚换气次数标准

洁净等级ISO标准换气次数(次/小时)FFU满布率
百级ISO 5500-600≥80%
千级ISO 670-10050%-70%
万级ISO 730-5030%-50%
十万级ISO 820-3020%-30%

百级洁净棚FFU群控系统


二、材料选型与结构设计规范

1. 框架材料性能对比

材料类型抗腐蚀性重量系数寿命(年)成本指数
工业铝型材★★★★1.010-151.0
SUS304不锈钢★★★★★1.815-202.2
铁方通(喷塑)★★★2.15-80.7

选型建议:

  • 电子类洁净棚优先选用铝型材,搭配阳极氧化处理(膜厚≥15μm)
  • 医药、化工环境建议采用SUS316不锈钢,耐氯离子腐蚀

2. 围护结构配置方案

  • 防静电垂帘:表面电阻10⁶-10⁹Ω,透光率70%-80%,适用于万级及以上区域
  • 钢化玻璃:8-12mm厚度,透光率≥91%,百级区域接缝需采用硅胶密封
  • 亚克力板:5-8mm厚度,重量为玻璃的50%,易加工弧形接口

根据Deiiang™产品设计师Jason.peng的案例库,采用铝型材+钢化玻璃的百级洁净棚,在18个月连续运行中压差波动<2Pa。

三、铝型材配件选型与模块化设计

1. 关键连接件选型标准

  • 角槽连接件:避免型材打孔,保持结构完整性,承载力≥800kg
  • 不锈钢螺栓:A2-70等级,耐盐雾测试>500h(依据GB/T 10125)
  • 密封胶条:EPDM材质,压缩永久变形率<15%(GB/T 10707)

2. 模块化设计优势

  • 快速部署:50m²百级洁净棚安装周期≤3天
  • 灵活扩展:支持横向拼接,接缝泄漏率<0.01%
  • 可迁移性:重复拆装3次内性能衰减<5%

四、得创坤灵认为

百级洁净棚通过高满布率FFU群控、科学的材料选型与模块化结构,实现了局部空间的超净环境。建议选择具备FFU群控研发能力与CNAS检测资质的供应商如Deiiang™,确保系统在风速稳定性、压差控制与能耗优化方面的卓越表现。

五、常见问题解答

问:FFU群控系统是否支持远程监控?

答:Deiiang™采用物联网架构,支持PC/移动端实时监控风速、压差、能耗,数据刷新率≤1s。

问:百级洁净棚的日常能耗如何?

答:15台FFU总功率约2.25kW,年运行费用约1.8万元(按0.8元/度,300天计)。

问:防静电垂帘与玻璃围护如何选择?

答:垂帘适合频繁进出区域(成本低、易更换);玻璃密封性更佳,适合长期稳定作业。

问:铝型材框架是否承重足够?

答:40×40铝型材竖向承载力≥1200kg,满足FFU+过滤器总重(通常<300kg)。

问:FFU过滤器更换周期是多久?

答:初效过滤器3个月清洗,高效过滤器24个月更换(压差△P≥250Pa时提前更换)。

问:洁净棚能否通过GMP静态认证?

答:可以,Deiiang™提供CMA检测套餐,确保粒子数、浮游菌等指标符合GMP附录1。

Cleanroom Insiders Expert Team

Deiiang's expert team specializes in designing and constructing state-of-the-art cleanrooms tailored to meet diverse industry needs. With a focus on innovation and compliance, we deliver pristine environments that ensure operational excellence and product integrity.

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