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洁净棚的检验项目关键有哪些?

  • Author:Jason Peng

  • Cleanroom Engineering Technology Manager of Deiiang Company.

    Product R&D Manager of GDC Inc. Cleanroom Equipment Manufacturing Company.

    Executive Director of Guangdong Cleanroom Industry Association of China.

    Engaged in R&D of related products for 15 years, with rich relevant technical experience

  • 2022-04-15  |  Visits:

洁净棚的检验项目关键有哪些?

洁净棚的检验项目


1 洁净棚的检验项目


项目

单边流

非单方面流

实行条文

1~4级

5级

6~9级

1

出风口送排风量(必需时体系总送排风量)

难测

必检

E1

2

棚间或系统软件排风量

必检

E1

3

棚间排风量

负压力洁净棚必检

E1

4

棚里横截面风力

必检

难测

E1

5

风力不匀称度

必检

必需时测

必要时测

E3

6

正压送风口或特殊界限的风力

难测

必需时测

E1

7

负压差

必检

E2

8

打开门后门里0.6m处洁净度等级

必检

难测

E2

9

洞边风力

必需时测

E2

10

棚间甲醛含量

必检(必测或是必需时测未确定)

E13

11

棚间氨浓度值

必需时测

E14

12

棚间二氧化碳浓度

必需时测

E15

13

棚间二氧化炭浓度值

必需时测

E16

14

排风高效送风口扫描仪测漏

必检

D2、E3

15

排风系统高效送风口扫描仪测漏

微生物洁净棚必检

D2、E3

16

气体洁净度等级等级

必检

E4

17

表层洁净度等级等级

必需时测

难测

由受托人和检验方商议选中规范

18

溫度

必检

E5

19

空气湿度

必检

E5

20

温湿度记录起伏范畴

必需时测

E5.2

21

棚域温差与棚域环境湿度差

必需时测

E5.2

22

噪音

必检

E6

23

光照强度

必检

E7

24

排架结构气密性试验

必需时测

G2~4

25

微振

必要时测

E10

26

表层导静电感应

必需时测

E9

27

气旋流形

不测

必需时测

E12.1

28

定项流

不测

必需时测

E12.2

29

流线平行面性

必需时测

不测

E12.3

30

臭氧消毒時间

必需时测

E11

31

分子结构态污染物质

必需时测

必要时测

H2

32

浮游菌或沉降菌

有微生物菌种浓度值主要参数规定的洁净棚必检

E8.2~3

33

表面染菌相对密度

必需时测

E8.4

34

分子生物学点评

必需时测

F1~3

 

表2 必检新项目检测時间的规定

检测新项目

适用等级

检测時间最多间距

送排风量

6~9级

12个月

正压送风口高效送风口扫描仪测漏

全部等级

24个月

排风系统高效送风口扫描仪测漏

全部等级

12个月

横截面风力

1~5级

12个月

排风量

全部等级

12个月

排风量

全部等级

12个月

负压差

全部等级

12个月

门里0.6m处洁净度等级

1~5级

12个月

气体洁净度等级

1~5级

6个月

6~9级

12个月

甲醛含量

全部等级

24个月

温湿度记录

全部等级

12个月

噪音

全部等级

12个月

光照强度

全部等级

12个月

浮游菌或沉降菌

全部等级

6个月

 

检测新项目

适用等级

检测時间最多间距

风力不匀称度

1~4级

12个月

正压送风口或特殊界限的风力

6~9级

12个月

洞边风力

全部等级

12个月

温湿度记录起伏范畴及棚域区别

全部等级

12个月或动态性检测

微振

全部等级

24个月

表面导静电感应

全部等级

24个月

气旋流形

6~9级

不限

定项流

6~9级

12个月

流线平行面性

1~5级

不限

臭氧消毒時间

5~9级

24个月

排架结构气密性试验

有需要的

不限

表面染菌相对密度

全部等级

6个月

分子生物学点评

全部等级

不限

分子结构态污染物质

1~4级

12个月

表面洁净度等级

1~5级

12个月

氨浓度

全部级别

24个月

活性氧浓度

全部级别

不限

二氧化炭浓度

所有级别

3个月

 

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