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洁净棚级别和级别-洁净棚及相关受控自然环境

  • Author:Jason Peng

  • Cleanroom Engineering Technology Manager of Deiiang Company.

    Product R&D Manager of GDC Inc. Cleanroom Equipment Manufacturing Company.

    Executive Director of Guangdong Cleanroom Industry Association of China.

    Engaged in R&D of related products for 15 years, with rich relevant technical experience

  • 2022-04-20  |  Visits:

洁净棚级别和级别-洁净棚及相关受控自然环境 第1一部分:空气洁净度等级

洁净棚等级和级别-洁净棚及相关受控环境 第1部分:空气洁净度等级


引   言
洁净棚及相关受控自然环境将空气飘浮颗粒操纵在恰当的水准 ,便于进行对环境污染比较敏感的主题活动 。航空公司航 天 、微电子技术 、制药业 、医疗设备、食品类 、医疗服务等领域的设备和加工工艺获益于对飘浮污染物质的操纵 。
GB/T 25915 的本一部分要求的 ISO 级别 ,可做为洁净棚及相关受控自然环境内空气洁净度等级的工艺标准 。 这儿不但要求了测量空气飘浮颗粒浓度值的技术规范 ,也规范了标准的检验方式 。
本一部分为颗粒浓度值限制值限制了粒度范畴 。可按本一部分给予的规范程序 ,依据低于或超过级别关心 粒度的空气飘浮颗粒浓度值,明确洁净度等级的水准 。
本一部分是洁净棚和环境污染操纵系列产品标淮中的一个 。除空气飘浮颗粒浓度值外 ,在洁净棚和别的受控环 境的设计方案 、技术性标准 、运作及管理方法中也有很多原因需要考虑到 。在本规范的其余一部分中 ,有这方面的详尽 内吓
有一些场所,相关监督机构很有可能会要求补充性的制度或限定 。碰到这样的事情 ,很有可能必须对规范检验方 法开展适度调节 。


洁净棚及相关受控自然环境第 1 一部分 :空气洁净度等级
1范畴
 GB/T25915 的本一部分区划洁净棚及相关受控自然环境的空气洁净度等级仅根据其中的空气飘浮颗粒浓度值,,,
该浓度通常是指粒度大于或等于阀值(下限)粒度的颗粒数量,要求的阔值(下限)粒度为 0. 1 μm-5 μm。总部未开设 0. 1μm-5 μm 要求粒度之外颗粒数量的洁净度等级 。但可以用 U 描述符和 M 描述符,各自描述超微主板颗粒 (5 μm)的数量。本一部分不可以用以叙述空气飘浮颗粒的物理学、有机化学、放射性物质或生存特点。
注 :大于或等于某粒度的微粒浓度值具体遍布一般难以预料,且通常是随时长变动的。


2专业术语和界定

以下专业术语和界定适用本文档 。
2. 1一般
 2. 1.1
洁净棚cleanroom
空气飘浮颗粒浓度值受控的棚间 ,其修建和应用方法使棚间内进到的 、造成的 、停留的颗粒至少,棚间 内溫度、环境湿度、工作压力等别的相关主要参数按要求受控 。
2. 1. 2
洁净棚clean zone
空气飘浮颗粒浓度值受控的专用型室内空间,其修建和应用方法使棚里进到的 、造成的 、停留的颗粒至少 ,棚 内溫度、环境湿度 、工作压力等别的相关主要参数按要求受控 。
注 :洁净棚可以是開放的或封闭式的,可在也并不在洁净棚内 。
2. 1. 3
设备installation
全部相关建筑物 、空气解决系统软件及其服务项目 、公共系統的洁净棚,或一个或多个那样的洁净棚 。
2. 1. 4
洁净度等级classification
洁净度等级分类classification
以 ISO N 级表明的 、洁净棚或洁净棚内按空气飘浮颗粒浓度值区划的洁净度等级水准(或要求 、明确该水 平的全过程) 。洁净度等级意味着关心粒度颗粒的较大允许浓度(表明为每立方空气中的颗粒数量) 。
注 1 :浓度计算见 3. 2 的式(1) 。
注 2 :本一部分级别的范畴仅限于 ISO 1 级-ISO 9 级。
注 3 :本部位的级别关心粒度仅限于 0.1 μm   5 μm 范畴(较低阀值) 。特定阀值粒度超过此范畴的空气洁净度等级 ,可以用 U 描述符和 M 描述符(见 2. 3. 1 和 2. 3. 2 )叙述和表明(但不等级分类) 。
注 4 : ISO 级别可带小数,最少增加量为 0.1,ISO 1. 1 级-ISO 8. 9 级。
注 5 :洁净度等级可适用全部 3 种占有情况


2. 2空气飘浮颗粒
2. 2. 1
粒子particle
其粒度阀值(最低值)在 0. 1 μm5 μm 范畴的 、总计的固态或液态化学物质 。


2. 2. 2
粒度particle size
给出粒度检测仪器得出的 、与被测颗粒的回应量非常的球型体直徑 。
注 2 离散变量粒子计数器得出的是剂量电子光学直徑 。


2. 2. 3
颗粒浓度值particle concentration
企业容积空气中颗粒的数量 。


2. 2. 4
粒度遍布particle size distribution
颗粒按粒度尺寸总计得到的微粒浓度值 。


2. 2. 5
超微主板颗粒ultrafine particle
当量直径低于 0. 1 μm 的颗粒。


2. 2. 6
大粒子macroparticle
当量直径超过 5 μm 的颗粒。


2. 2. 7
化学纤维fiber
(宽度〉 比不小于 10 的颗粒。


2. 3描述符
2. 3. 1
U 描述符U descriptor
包含超微主板颗粒以内的 、每立方空气颗粒的评测或要求浓度值 。
注 :U描述符可以做为取样点均值浓度值的限制(或相信限制 ,该相信限制依洁净棚或洁净棚特性鉴定取样点总数而 定) 。不能用 U描述符明确空气洁净度等级 ,但可以将其独立或随洁净度等级引述 。
2. 3. 2
M 描述符M descriptor
每立方空气中大颗粒的评测或要求浓度值 。M 描述符中的剂量粒度与测量法相关 。
注 :M 描述符可以做为取样点均值浓度值限制(或相信限制 ,该值依洁净棚或洁净棚特性鉴定取样点总数而定) 。不 能用U描述符明确空气洁净度等级 ,但可以将其独立或随洁净度等级引述 。


2. 4占有情况
2. 4. 1
空态as-built
设备已完工并运作,但沒有生产设备 、原材料和工作人员的情况。


2. 4. 2
静态数据at-rest
设备已完工 ,生产设备已安裝好并按买方与供货方商议的标准运作 ,但沒有工作人员的情况 。 
2. 4. 3
动态性operational
设备按照规定方法运作 ,其中要求数目的工作人员按商议方法工作中的情况 。
2.5相关多方
2. 5. 1
买方customer
要求洁净棚或洁净棚实际规定的组织或其代理商 。
2. 5. 2
供货方supplier
使洁净棚或洁净棚做到规范标准的组织 。


3级别
3. 1占有情况
洁净棚或洁净棚的洁净度等级 ,应按一种或几类占有情况明确 ,即:“空态”、“静态数据” 、“动态性”(见 2. 的。
注 :“空态”检验适用新完工或新更新改造的洁净棚或洁净棚 。完成了“空态”检验后,应开展“静态数据”或“动态性”或这二者的达级检验 。
3. 2级别序号
空气洁净度等级以级别序号 N 表明 。每一种关心粒度 D 的最高容许颗粒浓度值 c. 由式(1) 明确 :
式中
Cn 一一大于或等于关心粒度的颗粒较大允许浓度(以每立方空气中颗粒的数量表明),  将Cn 修 约为不超过 3 位有效数字的整数金额 ;
N   一ISO 级别的数字编号 ,较大不超过 9 。N 的各整数金额级别中间可以设置最少增加量为 0. 1 的中 间级别;
D一一关心粒度,企业为μm( μm) ;
0. 1 一一参量,企业为μm( μm) 。
表 1 得出了空气洁净度等级的整数金额级别以及相对应的关心粒度及以上的颗粒允许浓度 。图 A. 1( 见
附则 A)以详解表明整数金额级别 。发生异议时,要以式 (1)测算出的浓度值 Cn 为标准。
洁净度等级标准表

洁净度等级标准表
3. 3级别的表述
描述洁净棚及洁净棚空气的洁净度等级 ,应包括以下几点 :
a)以 ISO N级表明的级别 ;
b)等级对应的占有情况 ;
c)级别的关心粒度及其由式 (1) 明确的相对应浓度值 ,且每一个关心粒度阀值均在 0. 1 μm-5μm 范 围内。
实例:
ISO 4 级;动态性 关心粒度O. 2 μm(2 370 个/m3);1 μm(83 各个/m3)。
买方与供货方彼此应商谈浓度值精确测量中所使用的一个或好几个关心粒度 。
假如精确测量的关心粒度不只一个,则邻近两粒度中的大者〈如 D,) 与小点的叫日 D,)之比不可低于 1. 5 倍,即:


4级别的确认
4. 1基本原理
依据买方与供货方的协议书 ,执行要求的检验 ,并给予要求的检验結果和检验情况的文档 ,来认证设备 合乎买方要求的空气洁净度等级 (ISO 级别)规定 。
4. 2检验
附则 B 得出了达级认证的标准检验方式 。还可以应用别的精确度相比的方式 。如未找到或商议 别的检验方式,则应应用标准检验方式 。
达级检测中应应用经校正的仪器设备 。
4. 3空气飘浮颗粒浓度值限制值
按 4. 2 进行检验后,按附则 C 中的计算公式颗粒均值浓度值和 95 % 相信限制(适用时) 。
按式(C. 1)测算出的关心粒度[见 3. 3c)]的颗粒均值浓度值 ,不能超过按 3. 2 新中式(1) 测算出的浓度 限值。
除此之外 ,若采样点的总数不少于 2 且不超过 9,则按 c. 3 要求测算出的 95 % 相信限制,不能超过上边
测算的浓度限值 。
注 :附则 D提供了级别测算案例 。
粒子浓度用以判断与等级分类限值的一致性时 ,对全部关心粒度的浓度精确测量都应选用 同一种方式。
4. 4检测汇报
以综合性汇报的方式纪录并递交各洁净棚和洁净棚的检测結果 ,汇报中应申明检测結果是不是超过规 定的气体洁净室等级
检测汇报应包含以下內容 :
的检测组织的名字 、详细地址 、检测日期 ;
b)本部位的国家行业标准序号 ,即 GB/T 25915. 1 - 2010 。
c)清晰标出测定洁净棚或洁净棚的具体地址(必需时以相邻棚域作参考),并标明全部采样点的 实际座标 ;
d)为洁净棚或洁净棚所明文规定的规范 ,包含 ISO 级别 ,相对应的占有情况,关心粒度 ;
e)常用检测方式的详细描述,包含独特的检测标准及其与要求检测方式的偏移之处;检测仪器设备的型号规格,仪器设备全新的校准证书 ;
f)检测結果,包含每一个采样点的坐标系和粒子浓度数据信息 。
注 2   若按附则 E 的表明描述了超微主板位置或大粒子的浓度量,则检测汇报中就应包括相对应信息内容 。


附则A
(资料性附录)
洁净室等级表 1 的圈示
图 A. l 是表 1气体洁净室等级的图例 ,仅起表明功效 。表 1的 ISO 级别在图上以平行线表明 ,平行线意味着关心粒度阀值所相应的级别浓度限值 。这种限值是依据 3. 2 中的式(1) 测算获得 。而图上的平行线 仅仅级别限值的一种类似表明 ,不可以为此明确限值,确定限值仍应用式 ) 。
图上的实心点相匹配的是每一个 ISO 级别粒度阀值的最高和极小值 ,因而,级别线不可以拓宽至实心点 以外 。
级别线不意味着洁净棚和洁净棚内粒度的具体遍布 。


附则B
(规范化附则) 选用光透射离散变量粒子计数
测量粒子洁净室等级
B. 1基本原理
应用光透射离散变量粒子计数 ,在规定的采样点,测量大于或等于关心粒度的气体飘浮粒子浓度 。
B. 2仪器设备规定
B. 2. 1粒子计数
离散变量粒子计数 CDPC) 是一种光透射精确测量设备 ,可以表明或纪录空气中离散变量粒子的总量和粒度 :具 有粒径鉴别力 ,可在有关洁净室等级所涉及到的粒度范畴内测量粒子总浓度 ;并含有一套适合的采样 系统软件。
B. 2. 2仪器校正
仪器设备应具备合理的校准证书 ;校正频率和校正方式应满足现行标准认可的规范和标准 。
B 3   预检测条件
B. 3. 1检测提前准备
检测前 ,先认证洁净棚或洁净棚总体运作的各个领域均正常的元误   ,合乎特性规定 。 预检测工作中可包含如 z
a)排风量或风力检测 ;
b)气体压力差检测 ;
c)密封性检测 ;
d)已装过滤装置的测漏。
B. 3. 2预检测常用仪器设备的设定 依照厂家的表明设定并调准仪器设备 。
B. 4采样
B. 4. 1明确采样点部位
B. 4. 1. 1按式CB. 1) 求出至少采样点总数 :


B. 4. 1. 2

保证采样点在全部洁净棚或洁净棚内联合分布 ,并坐落于工作台面相对高度 。 若买方要求了 额外的采样点,解决新增加采样点的数量和部位作出要求 。 注 :额外采样点可坐落于按风险评估得到的重要部位 。


B. 4. 2明确各采样点的一次采样量 
B. 4. 2. 1

若关心粒度的较大粒子浓度处在特定 ISO 级别的浓度限制 ,则在每一个采样点要收集足够检测出不 低于 20 颗粒子的气量。
由式




B. 4. 2. 2
每一个采样点的采样量不可低于 2 L,采样時间不能低于 1 min 。
B. 4. 3采样技术规范
B. 4. 3. 1
按生产商的详细说明和仪器校正资格证书设定粒子计数 CB. 2. 1) 。
B. 4. 3. 2
采样摄像头应偏向气旋 。若采样点处气旋方位未可控或不能预测分析( 例如非单方面流) ,则采样摄像头的进 出气口应竖直往上 。
B. 4. 3. 3
在每一个采样点按 B. 4. 2 明确的最少采样量采样 。
B. 4. 3. 4
当仅必须一个采样点时 CB. 4. D ,则在该点至少开展三次采样 。
B. 5纪录結果
B. 5. 1各采样点的均值粒子浓度
B. 5. 1. 1
纪录下有关气体洁净室等级的每一个关心粒度( 3. 3)粒子的一次采样浓度 。
注 :在预估95% 相信限制以前,应先考虑到 B. 6. 1 的规定。
B. 5. 1. 2
当只有一个采样点时 ,测算每一个关心粒度采样数据信息 
B. 5. 1. 3
当在一个采样点上开展 2 次或 2 次以上的采样时,依照 c. 2 中给定的技术规范 ,从各次采样 CB. 5. 1. 1)
测算出每一个关心粒度的粒子均值浓度 ,并纪录結果 。
B. 5. 295% 相信限制( UCL) 的估算规定
B. 5. 2. 1
当采样点总数不只 1 个且不上 10 个时 ,依照 c. 3 中给定的技术规范 ,以全部各点的均值粒子浓 度
CB. 5. 1)测算总均值 、标准偏差和 95 % 相信限制 。
B. 5. 2. 2
当采样点仅有 1个或超过9 个时 ,不用测算 95 % 相信限制 。
B. 6数据统计分析
B. 6. 1等级分类规定
若每一个采样点测出的粒子浓度均值 ,及其适用时按 B. 5. 2 测算的 95 % 相信限制,均未超出按 3. 2
新中式(1) 明确的浓度限值 ,则觉得该洁净棚或洁净棚做到要求的气体洁净室等级 。 若检测結果无法达到要求的气体洁净室等级 ,可新增加联合分布的采样点开展检测 。再次数值
时,除开包括新采样点的数据信息外 ,还应包含原来采样点的全部数据信息 。(www.dcjjp.com)对包含新采样点以内的信息开展的 再次测算,其效果是无法改变的 。
B. 6. 2出现异常值的解决
95 % 相信限制( UCL) 的数值,很有可能未超过要求的 ISO 级别 。假如未达级是精确测量错漏(因为操 作错漏或机器设备异常〉而致或者粒子浓度出现异常低(因为某些测量点气体出现异常清洁) 而造成的单独非任意异 常值而致,则该值可以不计入 ,标准是z
a)再次测算时包含全部剩下采样点的数据信息   z
b)测算中起码也有 3 个精确测量值 ;
c)测算中不计入的精确测量值不能超过 1个 ;
d)纪录导致精确测量错漏或低粒子浓度的异常缘故 ,并获得甲乙双方的认同 。
注 :依所测清洁设备的运用特性,各采样点粒子浓度非常大的不同可能是有效的 ,乃至是有心而为 。
附则C
(规范化附则)
粒子浓度数据信息的统计分析解决
c. 1细则
数据分析中只考虑到随机偏差(精密度不够) ,不考虑到非随机偏差(如,校正偏差导致的误差) 。




附则E
(资料性附录) 超过分类粒度阀值范畴的粒子计径和记数
E. 1基本原理
在一些涉及到特殊加工工艺规定的情形下,可按等级分类粒度阔值范畴以外的粒子浓度此外要求气体洁净度等级 的水准。这类粒子的最高容许浓度和相对应的检测方式由买方与供货方商议 。E. 2 (针对 U 描述符) 和 E. 3
(对于 M描述符)中表明了有关检测方式和要求关系式 。 
E. 2低于 0. 1 μm 的粒子(超微主板粒子)一u 描述符
E. 2. 1运用
假如必须评定低于 0. 1 μm 的粒子导致严重污染的风险性 ,就需要选用合乎这类粒子实际特点的采样设备 和测量法 。
应依照 B. 4. 1 明确采样点总数 ,最少采样量 只应是 2 L(B. 4. 2. 2 ) 。
E. 2. 2U 描述符关系式
可以直接选用 U描述符表明超微主板粒子浓度 ,也可将它做为气体洁净室等级的补充说明 。
U描述符用“U ( x ; y ) ”表明,在其中 z
z 一超微主板粒子的最高容许浓度(以每立方气体超微主板粒子数量表明) ;
y 一一 以μm计的粒径 ,适合的离散变量粒子计数在该粒径点的粒子记数高效率为 50 % 。
例:粒径范畴二三 0. 01 μm 、较大容许超微主板粒子浓度 140 000 个/m3可表达为“U040 000;0. 01 μm)”。
注 1 : IEST G-CC1002得出了低于 0. 1 μm 的飘浮粒子浓度的检验方式 。
注 2 :假如用U 描述符做为气体洁净室等级的补充说明 ,则超微主板粒子的浓度(叫不可低于对应当 ISO 级别粒径
0. 1 μm 的粒子浓度限制值(每立方粒子数量) 。
E. 3超过 5 μm 的粒子(大粒子)一M 描述符
E. 3. 1运用
假如必须评定超过 5 μm 的粒子导致严重污染的风险性 ,就需要用合乎这类粒子实际特性的取样设备和测 量方式 。
气体飘浮粒子中的大粒子 般是以加工工艺自然环境中释放出来的 ,因而,应按照实际应用状况来明确适用的采 样设备和测量法 。必须考量的关键因素有 :粒子的相对密度 、样子 、容积 、流体力学特性这些 。除此之外 ,很有可能还 必须特别关心总飘浮粒子中的特殊成分 ,如化学纤维 。
E. 3. 2M 描述符关系式
M描述符可以独立引述,也可将它做为气体洁净室等级的补充说明 。M 描述符用“ M ( a ; b)   ; c”表 示,在其中 :
a 一一大粒子的最高容许浓度(以每立方空气中的大粒子数量表明) ;
b 一一与要求的大粒子测量法相匹配的当量直径(或直徑) (μm) ;
c 一一要求的测量法 。
注 :假如取样的飘浮粒子中富含化学纤维,则可以在 M 描述符上添一个化学纤维标识,表明为“M奸维 (a   ;b)   ;c”。
实例 1 :
若应用大气气溶胶航行時间粒子计数 ,测量的粒子流体力学直徑> S μm 的粒子浓度为 10 000 个/m3,,则用 M 叙述 符表明为:
“M(1000;>5 μm);大气气溶胶航行時间粒子计数” 。
实例 2:
若应用高倍显微镜对多级别碰撞采样器收集的粒子开展粒径测量和记数 ,测得 10 μm   - 20   μm 粒径范畴的飘浮粒子浓度为1000个/m3 ,则用 M 描述符表明为:
“M(1000;10 μm -20  μm);多级别碰撞采样器,以高倍显微镜测量粒径并记数飞
注 2: IEST-G-CC1003] 中提供了超过5 μm的飘浮粒子浓度的检验方式 。
注 3 :如应用M 描述符做为气体洁净室等级的补充说明 ,则大粒子浓度 (a ) 不可超过相匹配于该 ISO   级别的粒径 5   μm的粒子浓度限制值(每立方粒子数量) 。
附则F
(资料性附录) 条件随机场采样法
F. 1
环境和标准
F. 1. 1环境
若取样环境危害度显著超过或显著低于要求级别中关心粒径的粒子浓度限制值 ,选用条件随机场采样法 通常可大幅降低取样量和采样時间 。即使浓度贴近要求限制值时 ,条件随机场采样法仍可节约一些劳动量 。 当预估气体洁净度等级为 ISO 4 级或更清洁时,条件随机场采样法最好 。
注 2   相关条件随机场采样法的详细信息见 IEST-G-CCl 004.
F. 1. 2限定
条件随机场采样法的首要受限标准是 :
a)此方法仅适用在要求级别或浓度限制值处对关心粒径的每一次取样目 标数量为 20 颗粒子 。
b)每一次样版精确测量都需要佐以检测和数据统计分析 ,可由电子计算机全自动进行 。
c)因为条件随机场采样法减少了取样量,测到的粒子浓度比不上基本采样法精准   。


对一个要求取样点开展气体取样时 ,已经总计的粒子数量不断地与参考限制值开展较为 。该参考限 值是己收集气量与要求总产量比为的函数公式 。若已经总计的记数低于已采气量相匹配的参考值最低值 ,则 觉得取样气体符合要求的级别或浓度限制值 ,因此停止取样 。
若已经总计的记数超过已采气量相匹配的参考值限制 ,则取样气体不符合要求的级别或浓度限制值 , 因此停止取样 。只需已经总计的记数仍处于上最低值中间 ,取样就不断,一直总计到完全的样版 。
图 F. l 中的 C 是评测记数 ,它与 E 相对性应 ;E 是预估记数 ,即假设关心粒径的粒子浓度处于要求限 值处 、以一个完全的一次气体取样時间内可收集到 20 颗粒子的速度(取样量对采样時间) 取样时,能采 到粒子的记数 。
表 F. l 是另一种等效电路方式 。如表所显示,将评测记数 C 发生的时间段与精确测量详细单独样版并列的時间 开展较为 。若记数产生的時间先于表格中左栏的并列時间 ,则所采气体不符合要求限制值 z若记数产生時间 晚于表格中右栏的并列時间 ,则所采气体达到要求限制值 。粒子的产生的时间与表格中的限制時间较多 必须进 行 21 次较为。
F. 3取样技术规范
F. 3. 1   条件随机场取样的参考值
伴随着数据采集的过程判断結果的比较分析法有二种 。累进税数据信息电子计算机统计分析方法不错 ,并介绍应用 。
F. 3. 2取样对比图
图 F. l 表明出按式( F. l)和式(F. 2 ) 设置的边境线 ,这两根边境线在 E= 20 处断开 ,这里意味着收集 一个详细样版需要的時间 ,C= 20 即是较大达标评测记数 。
该图绘制了粒子浓度精准处于要求级别水准时 ,观察记数与预估记数的对应关系 。预估记数的增 加随着着时间的流逝,E=20 表明粒子浓度处于级别限制值时总计到一个详细取样量所需的時间 。
依照图 F. l 开展条件随机场取样的技术规范如下所示 :
伴随着取样的开展,纪录下做为时间函数的粒子记数 ,并将该计数与图 F. 1 的左右边框线开展较为 。 若评测总计计标值超出了上边框线 ,则停止该取样点的采样,说明气体不符合要求的级别限制值 。若评测累 计计标值小于下边框线 ,则停止该取样点的采样 ,说明气体符合要求的级别限制值 。若评测总计值处在上 、 下边框线中间,则再次开展取样 。
若到规范的取样時间完毕时 ,总记数未超出 20,未超过上边框线,可判断气体做到级别 。
F. 3. 3取样一览表
表 F. 1 得出另一种等效电路的条件随机场采样法 ,在其中的信息也是按式 C F. l)和式 C F. 2 ) 推算出来的。表格中的 時间 t 取值为 1. 000 0,意味着收集一个详细样版的时间范围 。其样本数即空气中关心粒径的粒子恰好处在 其级别限制值剂量浓度时 ,测到 20 个粒子的必不可少量。表格中列出各時间数值一个详细样版需要总总计時间 的各并列一部分 。
按表 F. 1开展条件随机场取样的方式 如下所示 :
伴随着取样的开展 ,纪录粒子记数及产生的時间 ,将每一次评测到记数的时间段与表格中所显示的2个時间栏 开展较为 。若一个评测记数总计值产生的時间先于表格中左边時间栏标出的并列時间   ,则停止取样,汇报 气体未超过要求的级别;若一个评测记数的合计值产生的时间段晚于表格中右边時间栏标出的并列時间,则 停止取样 ,汇报气体做到要求的级别 。若评测记数总计不断发生在2个時间栏所显示时间之间 ,则再次 取样;若持续实现的 21 次较为中元一记数早于左栏的并列時间 ,则这一详细样版说明气体做到要求 级别。


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