OLED洁净工程管理要点

OLED 元器件是在洁净棚内完成制造的，洁净棚工程施工质量优劣，决策着生产流水线良品率的多少，从而危害生产成本。

我企业修建了一个OLED 试验线洁净棚工程项目，文中将系统软件简介该洁净棚工程项目管理的关键点。

1 项目概况

该新项目主棚生产制造棚域为双层混凝土结构框架剪力墙及门式钢架构造，混泥土平屋面选用软性高分子材料防水卷材平屋面, 钢架结构平屋面选用机械设备稳定的防水卷材平屋面方法，一层层高4.8 m，二逐层高6.4 m，一层技术性下隔层与二层生产制造棚中间的混凝土楼板选用华夫板方法，运用华夫板上的开孔达到双层中间的送风，华夫板上设定导电率架空地板，机器设备依据技术规定布局在架空地板或华夫板上。

2 设备合理布局

一层主要包含的作用棚间为技术性下隔层，送风夹道，沿下隔层棚域四周布局有过厅、脱鞋棚、一更、化工品供货、特气供应、废水搜集、污水提高站、循环水系统站、纯净水打磨抛光间、真室内空间、配电站、原材料存储间、制成品储存间等。

二层是大进深的技术生产制造棚，布局生产设备。该层与技术性下隔层中间的构造混凝土楼板是有一定开孔率的华夫板，华夫板上边安裝空架防静电地板，以达到送风的规定；生产制造设备层的装修吊顶安裝离心风机过滤器模块（FFU），以达到生产制造层净化处理规定。

二层关键净化处理棚包含的棚域有 PVD/CVD、光刻技术间、掩膜清理、引入间、RTA、ELA、CVD、基材清理间、小块激光切割、蒸镀、片区、UV 硬底化、基材激光切割间、探头、列阵检验间、缓冲间、有车库、FMM库、QA、送风夹道等，关键净化处理棚周边的其他作用棚间包含有空调棚、电气设备棚、配电设备棚、检修间、材料库等。在关键净化处理生产制造棚的两边设计方案送风、管路立井，产生净化室内空气的循环系统控制回路。而且在工程建筑的两侧各设计方案好几部室内楼梯，产生各层对棚外的消防疏散安全通道为达到净化处理生产制造的微振规定，二层的混凝土楼板――华夫板拟选用偏厚的破孔混凝土楼板构造，华夫表面刷环氧树脂胶建筑涂料，为达到生产工艺流程的灵便布局并提升净化处理总面积的运用高效率，生产制造工作人员经主通道大厅进到脱鞋棚，再进到一次换衣，根据职工专用型室内楼梯进到二层二次换衣棚，再根据风淋室棚进到生产制造棚。

洁净棚空调机组由 MAU（新风系统解决系统软件） FFU  干风机盘管一同组成。生产制造棚装修吊顶由风机过滤单元（FFU）与合金装修吊顶架构构成，FFU 视各生产制造机器设备必须之级别均布，普及率随生产工艺流程要求而定。新风系统由 MAU（新风解决系统软件）集中化运输后与棚里的循环系统风混和，经FFU 充压、过虑后送进生产制造棚。生产棚里机器设备、工作人员、照明灯具、排架结构等冷负载均由干风机盘管担负。洁净棚内环境湿度及正压力操纵由 MAU 承担。MAU 供排风量要求约 50000CMH×2 1 台，洁净棚循环系统排风量约773000 CMH。新风系统通道附属不织布手工过滤网及库板隔断气棚于新风系统制冷机组进口前，增加关键过滤网使用寿命。

在化工品库、汽体间设定单独的空调机组,新风系统经加工处理后送进棚里，随后根据通风系统全部排至棚外，气体不循环系统应用。

加工工艺通风系统：在加工工艺生产过程中会造成含碱、碱、有机溶液、高熔点有机化学、有危害等有机废气。为维护生产制造员工的身心健康，降低对环境及厂棚周边环境危害，各自制定了相对的部分通风系统、全棚排风系统及有机废气处理系统软件。为清除加工工艺生产制造棚工艺技术等散发出的发热量所制定的部分通风系统、全棚排风系统的排风不需解决可立即排向空气。为清除加工工艺生产制造棚工艺技术释放的含碱、碱、有机溶液、高熔点有机化学、有危害等有机废气的部分通风系统，排风系统须先经过有机废气净化塔等有机废气处理设备解决，做到国家环保标准后才可以排进空气。加工工艺通风系统排烟风机排风量设置约 S T R 4 0 0 C M H × 1 1 台；G E X - D18000CMH×1 1台；EX-W & GEX-H 12300CMH×1台，备用手机与 GEX-D同用；SEX 16 000CMH×1 1台；ORG 4 000 CMH×1 1 台，全部加工工艺排烟风机均带变频调速器。

防、排风系统：针对超过300 m2的地面上棚间、长短超过 40 m的疏散走道、长短超过20 m的内过道设定消消火栓系统。以相对高度为50 cm的挡烟垂壁区划防排烟系统分棚，较大防排烟系统分棚的总面积为500 m2。排烟风机的风速为 72 000 m3/h（60 000×1.2 倍）。密闭式棚间设定机械设备排风系统时，与此同时安装机械设备送风系统软件，补排风量为排烟系统量的50%。消防救援窗以及前棚、消防电梯，前棚或共用前棚设定防排烟系统设备。

3 清洁级别规定

关键净化处理棚 0.3 ìm、ISO 5.5，輔助棚域 0.3ìm、ISO 6. 5。其工艺流程环境监控系统见表1 。

4 工程施工关键剖析

4.1 基本建设全过程务必遵循洁净棚基本建设四项原则

（1）不带到。

（2）不造成。

（3）不累积。

（4）迅速除去。

不带到，便是不向洁净棚领人一切尘土，务必保证下列标准：

（1）高效送风口与构造不造成尘土泄露。

（2）维持洁净棚正压力。

（3）工作人员经换衣脱鞋、风淋室后才可进到洁净棚。

（4）原材料与机器设备经清理后才可进到洁净棚。不造成，便是没有在洁净棚造成一切尘土，务必保证下列标准：

（1）工作人员需穿洁净服。

（2）不应用非常容易造成尘土的原料与机器设备。

（3）不开展多余的挪动。

（4）不带到无用具。不累积，便是没有在洁净棚累积一切尘土，必

须保证下列标准：

（1）不使机器设备角和四周清理艰难。

（2）洁净棚尽可能不曝露风道和管路。

（3）遵循规范化净化处理工作中程序流程。

迅速除去，便是迅速除去洁净棚内尘土，必

须做好以下几个方面：

（1）提升通气率。

（2）在挨近造成尘土的地点设定气水分离器。

（3）采用适合的气流形式以防止灰尘粘在产品上。

4.2 根据以上标准，洁净棚工程施工重点工作

搞好洁净棚气密性阻隔，将洁净棚与外部彻底防护，保证外部污染物质不可以进到洁净棚范畴，在宣布内装排架结构没完成前，先做临时性防护设备。

创建三级清洁管控，保证工程施工各环节合乎相对应净化处理管控规范。

架空地板开孔率测算及填料、盲板遍布。为确保华夫板送风匀称，从送风夹道向另一侧盲板的遍布率下降以均衡气流，避免 短路故障。

保证内装排架结构的气密性试验，洁净棚外部墙面、现浇板务必维持严实，禁止外气泄露进到洁净棚。保证送风夹道的密闭式，包含干风机盘管墙的密闭式及送风夹道排架结构的密封性，以确保干风机盘管的横断面风力、排风量规定，与此同时避免 气流短路故障，没经干风机盘管直接进入静压箱。

进到二级清洁管控环节，尽早在洁净棚内创建正压力，方式是运用新风机组为棚里给予新风系统，创建正压力，在新风系统外界的新风系统吸进口增设无防布过虑新风系统，以增加新风系统内初、中效过滤器的使用期限。

洁净棚工程施工结束后，通过调节、检验，洁净棚各类信息均合乎设计方案指标值。

5 

根据对本新项目工程施工实践活动的汇总，认证了新项目清洁管理方法关键的准确性，洁净棚工程施工管理，要严谨遵循洁净棚基本建设四项原则，可保证洁净棚建设工程的取得成功。